远心镜头：半导体精密检测的“隐形守护者”！

远心镜头是一种特殊的光学镜头，设计目的是为了纠正传统镜头在成像过程中可能产生的视差问题，它可以在一定的物距范围内，使得到的图像放大倍率不会因物体离镜头的远近而变化，因此常被应用于微小物体的精密测量。

海创光电自主研发设计的远心镜头，依据其独特的光学特性：高分辨率、超宽景深、超低畸变以及独有的平行光设计等，为半导体检测提供了一对“火眼金睛”。

• 零畸变光学：采用平行光路设计，彻底消除传统镜头边缘畸变，甚至可实现晶圆测量误差<0.1μm；
• 超大景深突破：面对3D封装芯片的阶梯结构，也能实现全视野清晰成像（景深可达传统镜头5倍）；

在晶圆表面缺陷检测方面，该远心镜头能够清晰成像并捕捉微小的划痕、颗粒、针孔等缺陷，提供高分辨率、低畸变的图像，为检测系统准确识别和分析缺陷提供了有力支持。同时，还可用于精确测量芯片上的关键尺寸，如线条宽度、间距和孔洞直径等，为工艺调整和质量控制提供关键数据。

在芯片封装(SMT)过程中也发挥着不可或缺的作用。它用于将芯片与封装基板进行精确对准，确保芯片的引脚与基板上的焊盘准确连接。此外，远心镜头还能检测键合过程中键合点的形状、位置和质量，从而保证键合的可靠性和稳定性，提升封装质量。